半導体排気軽減システム市場規模の成長推移2026：2032年3813百万米ドル到達を予測
図. 半導体排気軽減システムの製品画像
半導体排気軽減システムの世界市場は、2025年の18億8,600万米ドルから2032年には38億1,300万米ドルへ拡大し、2026～2032年の年平均成長率（CAGR）は8.9％と予測される。半導体排気軽減システムは、エッチング、CVD・ALD、エピタキシャル成長などで発生する有害・腐食性・可燃性ガスや温室効果ガスを処理する設備であり、環境規制への対応に加え、製造装置の保護、工場の安定稼働、安全管理を支える重要なインフラとなっている。
図. 半導体排気軽減システム世界総市場規模
半導体排気軽減システムの技術別動向
半導体排気軽減システムは、燃焼洗浄式、ドライ式、触媒式、湿式、プラズマ湿式などに分類される。2025年の出荷台数は燃焼洗浄式が6,916台、ドライ式が5,252台、触媒式が3,324台、湿式が3,123台、プラズマ湿式が2,354台だった。売上高では燃焼洗浄式が4億6,373万米ドル、ドライ式が4億2,028万米ドル。プラズマ湿式は平均単価が12万7,460米ドルと市場平均の8万300米ドルを大きく上回る。2026～2032年の売上高CAGRはドライ式10.64％、触媒式10.17％、プラズマ湿式9.38％で、高効率・省資源型技術の価値が高まっている。
半導体排気軽減システムの用途と技術課題
2025年はCVD・ALD向けが8,034台、売上高6億7,903万米ドルで最大用途となり、プラズマエッチング向けも6,875台、5億5,043万米ドルに達した。NF3、CF4、SF6などの処理では、分解・除去性能（DRE）だけでなく、燃料・電力消費、冷却水、排水、粉体処理、安全インターロックを総合評価する必要がある。2026年9月にはDAS Environmental Expertsが、排気ダクトに触媒段を組み込むNOx処理システムを発表。既設設備への後付けや省スペース化も、半導体排気軽減システムの開発方向を示している。
半導体排気軽減システムの地域・競争構造
2025年のアジア太平洋地域の需要は1万6,643台で、世界全体の約75.36％を占めた。一方、生産は欧州5,880台、中国5,275台、日本4,273台、北米2,782台、韓国2,685台と分散している。中国の生産台数は2026年の5,739台から2032年には9,952台へ増加する見通しだ。上位5社の売上高は合計約8億9,800万米ドルで、市場の約50.65％を占める。主要企業は荏原、Atlas Copco、GST、Busch Group、DAS Environmental Expertなど。今後は装置価格だけでなく、プロセス適合性、保守網、消耗品供給、稼働率、炭素管理を含む総保有コストが競争力を左右する。
本記事の内容は、YH Research株式会社の調査レポート「グローバル半導体排気軽減システムのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2026」のデータを基に作成しています。
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