リクルート『リクナビＮＥＸＴ　Ｔｅｃｈ総研』の研究レポート、東京エレクトロン東北が挑む、半導体製造装置「革命」

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■世界の半導体を作る「ものづくり日本大賞」の技術力
　東京エレクトロン東北が挑む、半導体製造装置「革命」
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　シリコンウェーハ上の薄膜形成に不可欠な熱処理成膜装置のメーカーとして知られる東京エレクトロン東北。その装置は世界シェア60％を誇ります。Ｔｅｃｈ総研編集部は同社の事業としての成長性、最先端技術を支えるモノづくりの醍醐味を探りました。

　2006年に江刺市、水沢市などが合併して誕生した岩手県奥州市。中でも東北新幹線・水沢江刺駅から約6kmのところにある江刺中核工業団地には、電機・機械などの工場が集中しています。工業団地で最も広い敷地を占めるのが、東京エレクトロン東北の本社工場です。

　半導体を製造するに当たって不可欠な工程の一つに熱処理成膜があります。同社は東京エレクトロングループの中でも、この熱処理成膜装置（Thermal Process System:TPS）の開発・製造に特化した企業です。

　現在は「TELFORMULA」に加え、さらに高度なプロセス処理と高いターンアラウンドタイム（量産性能）、メンテナンス時の装置ダウンタイムの短縮等を極めた「TELINDY」「TELINDY PLUS」「TELINDY IRad」「ALPHA-303i」などがラインナップとして並んでいます。総じて、TPS分野では世界60％のシェア。世界の半導体の大半が同社の装置を使い製造されているのです。

「当社の装置を使い続けるお客様には、私たちのフィールド・エンジニアによるメンテナンス活動は重要。実際にアラームがどのぐらい出るかを納入先のサイトで調査し、それを少なくするための品質向上活動を、東京エレクトロングループ一体となって行っています」

　と言うのは、同社の次世代装置プロジェクトを率いる榎本忠氏です。フィールド・エンジニアが収集したデータは、開発チームにフィードバックされ、製品の改良、次世代機の開発に活用されています。

　榎本氏は、アジアとの競争に打ち勝つためには、開発段階から徹底的なシミュレーションを行い、材料を変え、部品点数を減らすなど、「要求仕様の目的を変えずに、手段を変える」ことが必要と語ります。シミュレーション技術、フロント・ローディング、調整ゼロの技術、機械が自動的に位置を補正する自動補正技術など、同社の製品の随所にはアジアに勝つものづくりの日本品質が込められているのです。

　本レポートでは、同社での技術が生きる開発シーンと、求める人材スペックについても詳しくレポートしています。

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