DRIE技術と市場動向: DRIE技術の用途が拡大

株式会社グローバル インフォメーションは、Yole Developpementが発行した報告書「DRIE Technology & Market Equipment & Materials (DRIE技術と市場のトレンド：設備と材料)」の販売を開始しました。

深堀り反応性イオンエッチング(DRIE)は、もともとMEMSで使用されていた構造体形成プロセスで、非常にアスペクト比の高いエッチングを可能にする技術です。

当初は、加速度計の生産に使用されていましたが、今ではインクジェットヘッド、圧力センサー、ジャイロスコープ、マイクロフォン、マイクロアクチュエーター（MEMSベースのオートフォーカス機構など）さまざまな製品で使われるようになっており、その用途は先進パッケージなどMEMS以外の分野にも広がりつつあります。

これに伴い、DRIEプロセスで使用されるウエハの枚数も、2011年の540万枚から2017年には2,700万枚に増えると予想されており、市場が拡大を続けるなか、深堀り装置メーカーなどの競争は激化しつつあります。

当報告書は、MEMSや先進パッケージ、パワーデバイスなどの生産に用いられるDRIE技術の市場を詳細に分析し、2017年までの予測を示したもので、DRIEプロセスに使用される化学物質の市場や関連企業各社のプロファイルに加え、マイクロギアやオートフォーカス機構、マイクロ流体、共振器などの新たな用途について情報を提供しています。

市場調査レポート: DRIE技術と市場のトレンド：設備と材料
DRIE Technology & Market Equipment & Materials
http://www.gii.co.jp/report/yd240085-drie-technology-market-equipment-materials.html
出版日: 2012年05月
発行: Yole Developpement

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