静電チャックの世界市場

株式会社グローバルインフォメーション（所在地：神奈川県川崎市、代表者：樋口 荘祐、証券コード：東証スタンダード 4171）は、市場調査レポート「静電チャックの世界市場」（Global Industry Analysts, Inc.）の販売を6月13日より開始しました。

【当レポートの詳細目次】
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2024年に1億2,840万米ドルと推定される静電チャックの世界市場は、2030年には1億6,540万米ドルに達し、分析期間2024-2030年のCAGRは4.3%で成長すると予測されます。本レポートで分析したセグメントの1つであるコロンビック／クーロンチャックは、CAGR 4.9％を記録し、分析期間終了時には1億2,020万米ドルに達すると予測されています。ジョンセン・ラーベック・チャック分野の成長率は、分析期間中CAGR 2.8％と推定されます。

米国の静電チャック市場は、2024年に3,500万米ドルと推定されます。世界第2位の経済大国である中国は、分析期間2024年から2030年にかけてCAGR 8.0%で推移し、2030年には予測市場規模3,420万米ドルに達すると予測されています。その他の注目すべき地域別市場としては、日本とカナダがあり、分析期間中のCAGRはそれぞれ1.7％と3.4％と予測されています。欧州では、ドイツがCAGR 2.5%で成長すると予測されています。

静電チャック市場の成長を牽引しているのは、次世代半導体プロセスに直結する技術の進歩と最終用途動向です。技術面では、高純度セラミック、ESC表面コーティング、統合温度制御システムの革新により、プラズマ耐性の向上、ウエハー汚染の低減、熱均一性の向上が可能になり、これらはいずれも先端プロセスノードでの歩留まり維持に不可欠な要素となっています。温度、電圧、クランプ力用のセンサーを組み込んだESCは、プロセス制御と装置の稼働時間も向上させています。

アプリケーション側では、チップ設計の積極的な微細化、3Dアーキテクチャ（FinFET、GAA、HBM）への移行、EUVリソグラフィー・ツールの普及が、高真空・ハイパワー環境をサポートできる先進的なESCへの需要を促進しています。ウエハーの大口径化（300mm、初期の研究開発では450mm）が進むにつれ、ESCは、パーティクルの発生や熱勾配を引き起こすことなく、より広い面にわたって均一な静電気力を提供する必要があります。さらに、世界の半導体製造のローカライズと工場拡張の台頭が装置調達の原動力となっており、ESCはほぼすべてのウエハープロセスモジュールの基本コンポーネントとなっています。このような開発の積み重ねにより、静電チャックは半導体装置のエコシステムに不可欠な要素となっています。

第1章 調査手法
第2章 エグゼクティブサマリー
第3章 市場分析
第4章 競合

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