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「縦型ディバイス」に関するニュース
【名城大学】Applied Physics Express の 「Spotlights 2023」に選出--半導体プロセスに導入しやすい加熱・加圧した水を使用して基板からAlGaN半導体層を剥離する技術とメカニズムを解明
学校法人 名城大学
2023-10-30 15:00
